Werner Mirandé

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

6 Beiträge

P34 · Poster · 109. Tagung (2008)

Konstruktive Realisierung eines hochaperturigen 193nm-Mikroskops für die quantitative dimensionelle Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen

G. Ehret, F. Pilarski, D. Bergmann, B. Bodermann, E. Buhr, W. Mirandé

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A27 · Vortrag · 106. Tagung (2005)

Comparison of dark field microscopy with alternating grazing incidence illumination and bright field microscopy

G. Ehret, B. Bodermann, W. Mirandé

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A29 · Vortrag · 106. Tagung (2005)

Comparison of different microscope imaging models for different structure geometries on the basis of rigorous diffraction calculation

B. Bodermann, G. Ehret, W. Mirandé

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P25 · Poster · 106. Tagung (2005)

Evaluation of Scatterometry Tools for Critical Dimension Metrology

M. Wurm, B. Bodermann, W. Mirandé

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P2 · Poster · 105. Tagung (2004)

Einfluss von Polarisation, Einfallswinkel und Materialkonstanten bei der Dunkelfeldmikroskopie mit alternierender Beleuchtung bei streifendem Einfall

G. Ehret, B. Bodermann, W. Mirandé

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P32 · Poster · 105. Tagung (2004)

Einfluss geometrisch-optischer Strukturparameter sowie instrumenteller Parameter auf dimensionelle mikroskopische Messungen an Mikro- und Nanostrukturen

B. Bodermann, G. Ehret, W. Mirandé

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