Uwe Zeitner

Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF

Institut für Angewandte Physik, Friedrich-Schiller-Universität Jena

3 Beiträge

A31 · Vortrag · 120. Tagung (2019)

Si-microstructures for back-illuminated Ge-on-Si photodetectors

D. Schmelz, K. Dietrich, M. Steglich, U. Zeitner

P17 · Poster · 112. Tagung (2011)

Modellierung und Simulation bei Mask Aligner Lithographie (Source-Mask Optimization

U. Vogler, A. Bramati, R. Völkel, M. Hornung, R. Zoberbier, K. Motzek, A. Erdmann, L. Stürzebecher, U. Zeitner

C20 · Vortrag · 110. Tagung (2009)

Development of a large blazed transmission grating by binary index modulation for the GAIA Radial Velocity Spectrometer

M. Erdmann, U. Zeitner, E.-B. Kley