Bastian Trauter

Carl Zeiss SMT GmbH

Lehrstuhl für Optoelektronik, Institut für Technische Informatik, Universität Heidelberg

Lehrstuhl für Optoelektronik, Universität Mannheim

3 Beiträge

B15 · Vortrag · 109. Tagung (2008)

Schnelle Profilformbestimmung von diffraktiven Elementen durch Least-Square-Approximation mit verschobenen Basisfunktionen

B. Trauter, K.-H. Brenner

B16 · Vortrag · 109. Tagung (2008)

Rekonstruktion der Gitterparameter zweidimensionaler Gitter mit Hilfe der RCWA und analytischer Gradientenberechnung

B. Trauter, J. Hetzler

A30 · Vortrag · 107. Tagung (2006)

Anwendung des Phasenkontrastverfahrens in der optischen Vermittlungstechnik

B. Trauter, K.-H. Brenner