DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
DE

Margit Ferstl

Fraunhofer-Institut für Nachrichtentechnik, Heinrich-Hertz-Institut HHI, Fraunhofer Institute for Telecommunications, Heinrich Hertz Institute HHI

1 paper

A15 · Talk · 109. Conference (2008)

Nichtinvasive Bestimmung der Profilgeometrie von diffraktiven optischen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis

G. Ehret, C. John, E. Buhr, M. Ferstl, M. Helgert, O. Sandfuchs, R. Brunner
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