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DGaO
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Proceedings
ISSN 1614-8436
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Claudia John
Claudia John
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)
1 paper
A15 · Talk · 109. Conference (2008)
Nichtinvasive Bestimmung der Profilgeometrie von diffraktiven optischen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis
G. Ehret, C. John, E. Buhr, M. Ferstl, M. Helgert, O. Sandfuchs, R. Brunner