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DGaO
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Proceedings
ISSN 1614-8436
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Regine Model
Regine Model
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)
1 paper
B35 · Talk · 108. Conference (2007)
Numerische Analyse des Potentials der DUV-Scatterometrie zur Charakterisierung von EUV-Photomasken
B. Bodermann, M. Wurm, R. Model, H. Gross