M. Bergholz

Fachgebiet Technische Optik, Technische Universität Ilmenau

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B33 · Vortrag · 126. Tagung (2025)

Chromatische Eigenschaften tief geätzter DOEs in hochbrechendem amorphem Siliziumcarbid (a-SiC:H)

J. Wüster, M. Bergholz, M. Hofmann, P. Feßer, T. Handte, S. Sinzinger