M. Bergholz

Optical Engineering Group, Technische Universität Ilmenau

1 paper

B33 · Talk · 126. Conference (2025)

Chromatische Eigenschaften tief geätzter DOEs in hochbrechendem amorphem Siliziumcarbid (a-SiC:H)

J. Wüster, M. Bergholz, M. Hofmann, P. Feßer, T. Handte, S. Sinzinger