Ksenia Weber

4. Physikalisches Institut, Universität Stuttgart

Stuttgart Research Center of Photonic Engineering, Universität Stuttgart

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B14 · Vortrag · 125. Tagung (2024)

Verfahren zum Schutz von Objektiven für neue Fotolacke in der hochauflösenden Zweiphotonenlithografie

A. Toulouse, S. Thiele, V. Aslani, K. Hirzel, M. Schmid, K. Weber, M. Zyrianova, H. Giessen, A. Herkommer, M. Heymann