D. Stein

Institute of Physics, University of Augsburg

1 paper

A23 · Talk · 125. Conference (2024)

Zerstörungsfreie multimodale Analyse von polymerbasierten Mikro- und Nanostrukturen für die Nanoimprint Lithographie

S. Burkert, L. Schwörer, T. Schubert, J. Grundmann, D. Stein, A. Heinrich