D. Stein

Institut für Physik, Universität Augsburg

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A23 · Vortrag · 125. Tagung (2024)

Zerstörungsfreie multimodale Analyse von polymerbasierten Mikro- und Nanostrukturen für die Nanoimprint Lithographie

S. Burkert, L. Schwörer, T. Schubert, J. Grundmann, D. Stein, A. Heinrich