Sascha Brose

Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT

Lehrstuhl für Technologie Optischer Systeme, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen

2 Beiträge

A17 · Vortrag · 125. Tagung (2024)

Charakterisierung nanoskaliger Proben mittels laborbasierter spektroskopischer EUV-Reflektometrie

S. Glabisch, S. Schröder, S. Brose, J. Stollenwerk, C. Holly

A19 · Vortrag · 125. Tagung (2024)

Herstellung von (komplex) periodischen Strukturen durch Talbot-Lithografie mit kompakten EUV-Quellen

L. Lohmann, B. Lüttgenau, S. Brose, S. Danylyuk, J. Stollenwerk, C. Holly