Sascha Brose

Chair for Technology of Optical Systems, RWTH Aachen University

Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT, Fraunhofer Institute for Laser Technology ILT

2 papers

A17 · Talk · 125. Conference (2024)

Charakterisierung nanoskaliger Proben mittels laborbasierter spektroskopischer EUV-Reflektometrie

S. Glabisch, S. Schröder, S. Brose, J. Stollenwerk, C. Holly

A19 · Talk · 125. Conference (2024)

Herstellung von (komplex) periodischen Strukturen durch Talbot-Lithografie mit kompakten EUV-Quellen

L. Lohmann, B. Lüttgenau, S. Brose, S. Danylyuk, J. Stollenwerk, C. Holly