Sven Glabisch

Chair for Technology of Optical Systems, RWTH Aachen University

1 paper

A17 · Talk · 125. Conference (2024)

Charakterisierung nanoskaliger Proben mittels laborbasierter spektroskopischer EUV-Reflektometrie

S. Glabisch, S. Schröder, S. Brose, J. Stollenwerk, C. Holly