Sven Glabisch

Lehrstuhl für Technologie Optischer Systeme, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen

1 Beitrag

A17 · Vortrag · 125. Tagung (2024)

Charakterisierung nanoskaliger Proben mittels laborbasierter spektroskopischer EUV-Reflektometrie

S. Glabisch, S. Schröder, S. Brose, J. Stollenwerk, C. Holly