Michael Kolbe
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)
2 papers
A16 · Talk · 125. Conference (2024)
Entwicklungen und Herausforderungen in der EUV und X-ray nano metrologie für Lithographische Strukturen
P20 · Poster · 124. Conference (2023)