Präzise optische Konstanten: Die europäische OCDB

Die optischen Konstanten n&k sind eine fundamentale Grundlage für die Entwicklung zahlreicher optischer Systeme. Gerade im EUV und VUV Spektralbereich gibt es noch sehr viele Lücken in den existierenden Datenquellen und valide Untersuchungen der Unsicherheiten existieren fast gar nicht. Die PTB baut deshalb, in enger Kooperation mit verschiedenen Europäischen Partnern, eine neue Datenbank (ocdb.ptb.de) auf mit dem Ziel über einen großen spektralen Bereich (X-ray bis VUV) diese Datenlücken zu schließen. Die Elektronspeicherringe BESSYII und Metrology Light Source sind ideale Quellen für diese Form von metrologischer Materialwissenschaft und ermöglichen es eine geeignete Referenz Messinfrastruktur zu erschaffen. Wir geben Einblicke in die zugrundeliegenden Messtechniken und auch in die Schwierigkeiten und Herausforderungen bei der Bestimmung von optischen Konstanten aus aktuellen Dünnschichtsystemen.