Ellipso-Höhentopometrie, EHT, Erweiterungen und Weiterentwicklungen
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Die Ellipso-Höhentopometrie ist eine erweiterte optische Topometrie, bei der sowohl die Obe¬r-flächenerhebungen, H(x,y), als auch die lokalen ellipsometrischen Parameter Ψ(x,y) und Δ(x,y) von Oberflächen mit lokal veränderlichen Material- und Schichtzusammensetzungen in einem gemein-samen Messstrahlengang und auf demselben Pixelraster mit hoher Auflösung erfasst werden: die Dicke t(x,y) von Überschichtun¬gen, Oxidationen oder Ablagerungen oder Parameter von gezielt auf¬gebrachten Strukturen. Wir erklären zur Einleitung die Grundprinzipien, stellen neue und weiterführende Ansätze vor, präsentieren neue Messdatensätze und ihre Auswertungen und zeigen weitere Möglichkeiten des Verfahrens.
@inproceedings{leonhardt2018b35,
author = {Leonhardt, Klaus},
title = {{Ellipso-Höhentopometrie, EHT, Erweiterungen und Weiterentwicklungen}},
booktitle = {DGaO-Proceedings 2018},
series = {DGaO-Proceedings},
eventtitle = {119. Jahrestagung der DGaO},
eventdate = {2018-05-23/2018-05-26},
venue = {Aalen},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
year = {2018},
pages = {B35},
url = {https://dgao-proceedings.de/paper/119-b35}
}