Phase Retrieval mit Hilfe verstimmbarer Optiken für die Fourier Ptychographie
- Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano, Technische Universität Ilmenau
Die Auflösung einer optischen Abbildung wird durch die Größe der Öffnung des Abbildungssystems bestimmt. Sie begrenzt in einem 4f System den spatialen Frequenzbereich, der durch das System übertragen werden kann und somit die räumliche Auflösung der Abbildung. Dieser spatiale Frequenzbereich kann durch eine sukzessive schräge Beleuchtung und phasenangepasste Kombination der Teilspektren (Stitching) erweitert werden (Fourier Ptychografie). Auf diese Weise kann die räumliche Auflösung der Abbildung erhöht werden. Durch den Einsatz einer verstimmbaren Membranlinse in das Abbildungssystem ist es möglich, einen hochaufgelösten defokussierten Bildstapel ohne axiale Verschiebung des Kamerasensors zu gewinnen, der als Datensatz für einen anschließenden Phase Retrieval Algorithmus verwendet wird. Wir demonstrieren die Anwendung von Fourier Ptychograie mit anschließendem Phase Retrieval Algorithmus an geeigneten Teststrukturen.