System zur hochsensitiven spektral- und winkelaufgelösten Streulichtmessung an optischen Komponenten
- Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
alexander.finck@iof.fraunhofer.de
Die Streulichteigenschaften von optischen Oberflächen, Materialien, Schichtsystemen, etc., weisen teilweise eine extreme Abhängigkeit von der Beleuchtungswellenlänge auf. Systeme zur winkelaufgelösten Streulichtmessung optischer Komponenten mit den erforderlichen Sensitivitäten von unter 10E-5 /sr sind typischerweise auf diskrete Laserwellenlängen beschränkt. Viele Applikationen erfordern jedoch eine Charakterisierung im gesamten Bereich der relevanten Anwendungswellenlängen. Am Fraunhofer IOF Jena wurde daher ein neues Messsystem zur spektralen winkelaufgelösten Streulichtmessung (ARS, BRDF) entwickelt. Es basiert auf einem durchstimmbaren OPO Lasersystem als Lichtquelle und ermöglicht die hochsensitive Detektion der 3D-Streulichtverteilung in einem Spektralbereich von 250 nm bis 1500 nm. Erste experimentelle Ergebnisse werden vorgestellt.