Nutzung latenter Marker für die Präzisions-Laserdirektbelichtung

Bei der Belichtung von computergenerierten Hologrammen (CGH) z.B. für den Einsatz in der Interferometrie ist eine hohe Positioniergenauigkeit des Schreibkopfes essentiell, um eine geringe Verzeichnung und hohe Qualität der gefertigten Strukturen zu erreichen. In diesem Beitrag wird ein Ansatz vorgestellt, der auf Markern basiert, die unmittelbar vor dem Schreibvorgang in die zu belichtende Photolackschicht geschrieben werden. Das entstehende latente Bild wird während des Schreibvorganges periodisch ausgelesen, womit Positionierungsfehler z.B. durch Driften effektiv detektiert und kompensiert werden können. Wir zeigen die Implementierung am Beispiel eines Polarkoordinaten-Schreibsystems und stellen experimentelle Ergebnisse vor.