Nutzung latenter Marker für die Präzisions-Laserdirektbelichtung
- Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart
pruss [at] ito [dot] uni-stuttgart [dot] de
Bei der Belichtung von computergenerierten Hologrammen (CGH) z.B. für den Einsatz in der Interferometrie ist eine hohe Positioniergenauigkeit des Schreibkopfes essentiell, um eine geringe Verzeichnung und hohe Qualität der gefertigten Strukturen zu erreichen. In diesem Beitrag wird ein Ansatz vorgestellt, der auf Markern basiert, die unmittelbar vor dem Schreibvorgang in die zu belichtende Photolackschicht geschrieben werden. Das entstehende latente Bild wird während des Schreibvorganges periodisch ausgelesen, womit Positionierungsfehler z.B. durch Driften effektiv detektiert und kompensiert werden können. Wir zeigen die Implementierung am Beispiel eines Polarkoordinaten-Schreibsystems und stellen experimentelle Ergebnisse vor.
@inproceedings{haefner2013p44,
author = {Häfner, Matthias and Pruß, Christof and Osten, Wolfgang},
title = {{Nutzung latenter Marker für die Präzisions-Laserdirektbelichtung}},
booktitle = {DGaO-Proceedings 2013},
series = {DGaO-Proceedings},
eventtitle = {114. Jahrestagung der DGaO},
eventdate = {2013-05-22/2013-05-25},
venue = {Braunschweig},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
year = {2013},
pages = {P44},
url = {https://dgao-proceedings.de/paper/114-p44}
}