Weißlichtinterferometrie für die Formmessung
- Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)
Weißlichtinterferometrie wird heutzutage in vielvielfältiger Weise eingesetzt, um berührungslos Form und Strukturen von Oberflächen zu charakterisieren. Im Rahmen eines DFG-Projektes wird ein neuartiges schnell scannendes Messsystem zur Formmessung von Präzisionsbauteilen aufgebaut. Der dynamisch nachgeführte Sensor basiert auf der Weißlichtinterferometrie in Linnik-Anordnung. Dieser wurde hinsichtlich der mechanischen Stabilität und Beleuchtung des Messobjektes optimiert. Es werden stationäre Messungen u.a. an einem Sinusprofil mit verschiedenen Lichtquellen unterschiedlicher Kohärenz (grüne, kaltweiße und warmweiße LED) vorgestellt. Anhand der Messdaten werden die Hüllkurvenauswertungen mit und ohne Phasenauswertung verglichen. Die Einsatzfähigkeit des Weißlichtsensors für das neuartige dynamisch scannende Formmesssystem wird diskutiert.