OPO-basiertes System zur hochsensitiven winkel- und wellenlängenaufgelösten Streulichtmessung
- Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF, Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF
david [dot] unglaub [at] iof [dot] fraunhofer [dot] de
Die genaue Untersuchung von Streulichteigenschaften spielt eine immer wichtigere Rolle insbesondere bei der Charakterisierung optischer Oberflächen und Schichten. Vorhandene Präzisions-Streulichtmesssysteme sind allerdings bisher auf diskrete Laserwellenlängen beschränkt, obgleich viele Streulichtmechanismen starke Wellenlängenabhängigkeiten aufweisen. Um diese gezielt analysieren zu können, wird derzeit am Fraunhofer IOF ein neues System für hochsensitive winkel- und wellenlängenaufgelöste Messungen in einem Bereich von 250 nm - 1500 nm basierend auf einem breitbandig durchstimmbaren Laser (OPO) entwickelt. Die Implementierung eines breitbandig sensitiven Detektorsystems bei gleichzeitig kompakter Bauform stellt dabei eine der speziellen Herausforderung dar. Zur Lösung wird ein mehrkanaliger Ansatz mit Aufsplittung in einzelne Wellenlängenbereiche sowie eine geeignete Kombination verschiedener Detektoren verfolgt. Das Messsystem und das Detektorkonzept werden vorgestellt und erste Ergebnisse präsentiert.
@inproceedings{unglaub2013b21,
author = {Unglaub, David and Schröder, Sven and Duparré, Angela},
title = {{OPO-basiertes System zur hochsensitiven winkel- und wellenlängenaufgelösten Streulichtmessung}},
booktitle = {DGaO-Proceedings 2013},
series = {DGaO-Proceedings},
eventtitle = {114. Jahrestagung der DGaO},
eventdate = {2013-05-22/2013-05-25},
venue = {Braunschweig},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
year = {2013},
pages = {B21},
url = {https://dgao-proceedings.de/paper/114-b21}
}