Maschinenintegrierte Messtechnik für die Herstellung von Diamantschneidwerkzeugen

Mikrostrukturierte Bauteile mit höchsten Ansprüchen an die Oberflächenqualität können durch eine Präzisionszerspanung mit Hilfe von Diamantschneidwerkzeugen hergestellt werden. Für die Qualität der Bearbeitung ist eine präzise Herstellung des Diamantwerkzeuges eine wesentliche Voraussetzung. Die Kontur der Werkzeuge wird durch einen Schleifprozess hergestellt. Um schon während der Bearbeitung die Werkzeugkontur zu überwachen wird bei der Entwicklung einer Diamantschleifmaschine ein optischer Sensor in die Maschine integriert. Dadurch kann zwischen einzelnen Bearbeitungsschritten die Form des Werkzeugs erfasst werden und falls notwendig eine Korrektur des Schleifprozesses vorgenommen werden. Die optische Erfassung der Kontur kann über eine Hellfelderfassung mit einer Datenbearbeitung sowie über eine weißlichtinterferometrische Messung erfolgen. Allerdings müssen neben systematischen Fehlern der Messung ebenso die Positionierfehler der Maschine sowie mögliche Einflüsse aus der Umgebung für eine Abschätzung der Messunsicherheit erfasst werden. In diesem Beitrag werden Untersuchungen zum Einfluss der Ungenauigkeit der Maschinenachsen auf das Messergebnis vorgestellt.