Table-Top Streulichtmesssystem ALBATROSS-TT
- Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
alexander [dot] finck [at] iof [dot] fraunhofer [dot] de
Streulicht-basierte Verfahren zeichnen sich durch hohe Robustheit, Sensitivität und Schnelligkeit aus und sind daher besonders zur effizienten Analyse von Oberflächen, Materialien und Beschichtungen geeignet. Dem dringenden Bedarf an einem Table-Top Streulichtmesssystem für den Einsatz in Forschung und Entwicklung (Substrat Finishing, Beschichtung, etc.) wurde mit dem am IOF entwickelten System ALBATROSS-TT entsprochen. Durch geringe Abmaße (<1 m³) sowie vollständige Einhausung wird der flexible Einsatz nahe am Prozess möglich. Ein Dynamikbereich von 13 Größenordnungen bei 532 nm in Kombination mit einem niedrigen Hintergrundniveau von 2E-08 1/sr erlaubt die Charakterisierung von technischen bis hin zu superpolierten optischen Oberflächen mit rms-Rauheiten <0,1 nm. Eine Messunsicherheitsbetrachtung des Systems wird vorgestellt. ALBATROSS-TT wurde mit einem 3D-Detektorpositioniersystem ausgestattet, das detailliertere Untersuchungen wie die Anisotropieanalyse diamantgedrehter Oberflächen oder die Charakterisierung komplexer Streulichtverteilungen von z. B. Gittern, Schichtsystemen und Edelsteinschliffen ermöglicht.
@inproceedings{vonfinck2011a10,
author = {von Finck, Alexander and Hauptvogel, Matthias and Duparré, Angela},
title = {{Table-Top Streulichtmesssystem ALBATROSS-TT}},
booktitle = {DGaO-Proceedings 2011},
series = {DGaO-Proceedings},
eventtitle = {112. Jahrestagung der DGaO},
eventdate = {2011-06-15/2011-06-18},
venue = {Ilmenau},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
year = {2011},
pages = {A10},
url = {https://dgao-proceedings.de/paper/112-a10}
}