Spanende Fertigung mikrooptischer Komponenten mit einer parallelkinematischen Laborwerkzeugmaschine

Wir berichten über die Konstruktion einer parallelkinematischen Laborwerkzeugmaschine und deren Leistungsmerkmale bei der Fertigung mikrooptischer Komponenten durch spanende Verfahren. Als Maschinengerüst dient ein quaderförmiger Käfig aus hochfesten Aluminimprofilen. In diesen ist auf einer Seite ein Hexapode angeflanscht, auf dessen beweglicher Plattform das Werkstück eingespannt wird. Auf der anderen Seite ist eine hochdrehende druckluftbetriebene Turbinenspindel montiert, in die Bohr-, Fräs- oder Schleifwerkzeuge eingespannt werden können. Grundsätzlich können mit der Hexapoden-plattform computergesteuert beliebige Trajektorien im dreidimensionalen Raum abgefahren werden, was z.B. die Fertigung asphärischer optischer Profile ermöglicht. Exemplarisch berichten wir über die Herstellung elliptischer Reflektoren zu einem mikrointegrierten Sensorkopf für die Plasma-Emissions-Spektroskopie.