Passe- und Rauheitsprüftechnik: Welche Sensorik ist die richtige?

Die Herstellung optischer Komponenten erfordert eine Prüftechnik für alle tolerierten Merkmale. Im Vordergrund stehen dabei die Passe- und Rauheitsprüftechnik. Je nach Oberflächenform - von Plan- bis Freiformfläche - ergeben sich unterschiedliche Herausforderungen. Die Technik bietet verschiedene Sensoren, die prinzipiell geeignet erscheinen, Passe oder Rauheit zu vermessen: Interferometer verschiedener Bauart, Shack-Hartmann-Sensoren und Deflektometer zur Vermessung der Passe, Rauheitsinterferometer, taktile Profilometer und AFMs zur Vermessung der Rauheit. Es werden die Prinzipien der verschiedenen Techniken dargestellt, ihre Eignungen und Limitationen den Anforderungen gegenübergestellt. Messdynamik, Auflösung und die Flexibilität in der Anpassung an die jeweilige Prüflingsgeometrie sind wichtige Auswahlkriterien. Die hochgenaue Vermessung von Asphären und Freiformflächen erfordert in der Regel eine flächenspezifische Strahlenführung. Als Alternative sind inzwischen begrenzt universelle Verfahren verfügbar. Ihre Funktionsweisen und Eigenschaften werden diskutiert.