Aberrationen in der "Cat´s Eye"-Konfiguration bei hohen Aperturen

Hans-Martin Heuck, Joachim Wesner, Joachim Heil
  1. Leica Microsystems CMS GmbH

Hans-Martin [dot] Heuck [at] leica-microsystems [dot] com

Die "Cat´s Eye"-Konfiguration (Planspiegel im Fokus der Wellenfront) wird in der optischen Messtechnik eingesetzt um die Abbildungsqualität von Linsensystem zu bestimmen, so bei der Bestimmung des radial-symmetrischen Wellenfrontfehlers von Systemen mit dem bekannten n+1 Stellungs-Test. Die Winkelabhängigkeit der Phase der am ebenem Spiegel reflektierten Welle kann als scheinbare Wellenfront-Aberration interpretiert werden, die bei großen (halben) Öffnungswinkeln (> 50°) nicht mehr vernachlässigt werden kann. Diese Phase wird als Funktion von Einfallswinkel und Polarisation hergeleitet, und die zu erwartenden Aberrationen werden als Funktion Apertur (NA) des Systems und für verschiedene Materialien des Spiegels berechnet. Die theoretischen Vorhersagen werden mit interferometrischen Messungen von Wellenfronten eines Mikroskop-Objektivs (NA = 1.47) und eines Fizeau-Kondensors (NA = 0.96) verglichen.

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@inproceedings{heuck2010b28,
  author     = {Heuck, Hans-Martin and Wesner, Joachim and Heil, Joachim},
  title      = {{Aberrationen in der ``Cat´s Eye''-Konfiguration bei hohen Aperturen}},
  booktitle  = {DGaO-Proceedings 2010},
  series     = {DGaO-Proceedings},
  eventtitle = {111. Jahrestagung der DGaO},
  eventdate  = {2010-05-26/2010-05-29},
  venue      = {Wetzlar},
  publisher  = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
  year       = {2010},
  pages      = {B28},
  url        = {https://dgao-proceedings.de/paper/111-b28}
}
111. Jahrestagung der DGaO · Wetzlar · 2010