Neue Ansätze zur Normung von Oberflächenfehlern und Oberflächengüte optischer Komponenten unter Berücksichtigung neuerer Prüfverfahren

Neuere Oberflächenprüfverfahren wie AFM, Weisslichtinterferometrie oder konfokale Mikroskopie gestatten die Ermittlung des 3D-Profils einer optischen Oberfläche. Die bisherige Normung der Oberflächenfehler und der Oberflächengüte nach ISO 14997 bzw. ISO 10110-7 und ISO 10110-8 basiert jedoch im Wesentlichen auf einer eindimensionale Abtastung mittels Tastschnittverfahren. Der Vortrag zeigt welche Bedeutung zusätzliche Information wie das zweidimensionale Leistungsdichtespektrum (2D-PSD) sowie der quadratische Flächen-Mittenrauwert Sq für die Prüfung optischer Komponenten haben. Es werden erste experimentelle Ermittlungen des 2D-PSD, sowie des Sq-Werts mittels Weisslichtinterferometrie und AFM gezeigt. Abgeleitet aus den experimentellen und theoretischen Erkenntnissen präsentiert der Beitrag neue Ansätze zur Normung der Oberflächenfehler und der Oberflächengüte optischer Komponenten.