Interferometrisches Verfahren zur schnellen, flexiblen Vermessung von Präzisionsasphären

Die schnelle, flexible Vermessung von asphärischen Präzisions-Oberflächen im Fertigungsprozess ist nach wie vor ein ungelöstes Problem in der Optikfertigung. In diesem Vortrag wird ein neues Verfahren präsentiert, das typische Asphären mit einer asphärischen Deformation von bis zu 1000 µm mit interferometrischer Genauigkeit vermessen kann. Hierfür wird kein an die jeweilige Asphäre angepasster Nullkorrektor benötigt. Der Prüfling wird mit vielen zueinander verkippten Wellenfronten beleuchtet, so dass über die gesamte Asphäre auswertbare Bereiche entstehen, die von einem speziellen Mess- und Kalibrieralgorithmus ausgewertet werden. Das neue Verfahren wird vorgestellt, spezielle Komponenten des Aufbaus erläutert und erste Messergebnisse präsentiert.