DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
DE
Talk B5

Scatterometrie an Kreuzgitterstrukturen

Thomas Schuster1, Jörg Kauffmann1, Norbert Kerwien1, Hans Tiziani1, Wolfgang Osten1, Peter Reinig2
  1. 1Institute of Applied Optics, University of Stuttgart
  2. 2Qimonda Dresden GmbH & Co. OHG

schuster [at] ito [dot] uni-stuttgart [dot] de

Scatterometrie hat sich als eine wesentliche Säule der Prozesskontrolle in der Halbleitertechnologie etabliert. Das Verfahren wird zunächst erläutert. Die Möglichkeiten des erweiterten Simultionstools MicroSim des ITO (Institut für Technische Optik) werden an praxisrelevanten, hochkomplexen Kreuzgitterstrukturen demonstriert. Mit den jüngsten Entwicklungen ist eine Simulation scatterometrischer Messsignale für beliebige Kreuzgitterstrukuren möglich. Vergleiche zwischen simulierten und gemessenen scatterometrischen Signalen werden gezeigt.

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@inproceedings{schuster2006b5,
  author     = {Schuster, Thomas and Kauffmann, Jörg and Kerwien, Norbert and Tiziani, Hans and Osten, Wolfgang and Reinig, Peter},
  title      = {{Scatterometrie an Kreuzgitterstrukturen}},
  booktitle  = {DGaO-Proceedings 2006},
  series     = {DGaO-Proceedings},
  eventtitle = {107. Jahrestagung der DGaO},
  eventdate  = {2006-06-07/2006-06-10},
  venue      = {Weingarten},
  publisher  = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
  year       = {2006},
  pages      = {B5},
  url        = {https://dgao-proceedings.de/paper/107-b5}
}
107. Annual Conference of the DGaO · Weingarten · 2006