Selbstorganisierte Filamentierung UV-sensitiver Polymere bei partiell-kohärenter Bestrahlung
- 1Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF, Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF
- 2Friedrich-Schiller-Universität Jena, Friedrich Schiller University Jena
ulrich [dot] streppel [at] iof [dot] fraunhofer [dot] de
UV-sensitive optische Polymere haben sich für viele Anwendungen im Bereich der Mikro- und Wellenleiteroptik insbesondere aufgrund ihrer vielfältigen Verarbeitungsmöglichkeiten etabliert. Die Mikrostrukturierung mit lithographischen Methoden wird bereits praktiziert und ist Grundlage für die Erzeugung komplexer Mikrooptiken. Der zur Aushärtung der Materialien führende Polymerisationsprozess wird durch UV-Bestrahlung initiiert. Bisher unverstanden war, dass aus einer homogenen UV-Bestrahlung dicker (>50 µm) Resistschichten keine homogene Aushärtung resultiert: Es entsteht eine inhomogene Brechzahlverteilung mit wohl-definiertem Raumfrequenzspektrum, die die Qualität der zu erzeugenden Strukturen beeinträchtigt. Wir stellen die theoretische und experimentelle Analyse der zugrundeliegenden physikalischen Effekte vor und zeigen die Existenz einer Vorzugsraumfrequenz und wie, z.B. durch Wahl geeigneter Kohärenzeigenschaften der Beleuchtungsquelle, die Filamentierungseffekte verringert werden können.
@inproceedings{streppel2004b24,
author = {Streppel, Ulrich and Michaelis, Dirk and Bräuer, Andreas and Kowarschik, Richard},
title = {{Selbstorganisierte Filamentierung UV-sensitiver Polymere bei partiell-kohärenter Bestrahlung}},
booktitle = {DGaO-Proceedings 2004},
series = {DGaO-Proceedings},
eventtitle = {105. Jahrestagung der DGaO},
eventdate = {2004-06-02/2004-06-05},
venue = {Bad Kreuznach},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
year = {2004},
pages = {B24},
url = {https://dgao-proceedings.de/paper/105-b24}
}