DGaO·Proceedings ISSN 1614-8436
DE
Talk A6 11:45

Test eines absolutmessenden lnterferometers am 50m-Längenkomparator der PTB

Thomas Kinder1, Gerald Sparrer2, Klaus-Dieter Salewski3
  1. 1TEM Messtechnik GmbH
  2. 2Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)
  3. 3Institute of Physics, University of Greifswald

thomas.kinder@tem-messtechnik.de

Untersucht wird die Messgenauigkeit eines absolutmessenden Distanzinterferometers mit variabler synthetischer Wellenlänge (VSW-ADI) mit einem Messbereich bis über 50m. Der transportable Experimentalaufbau wurde zur Feststellung der tatsächlichen systematischen Messabweichungen einem Vergleichstest am 50-Meter-Längenkomparator der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) in Braunschweig unterzogen, wobei ein inkrementelles Laserinterferometer als Normal dient. Die gewählte Anordnung von Prüfling und Normal gewährleistet eine Minimierung des Komparatorfehlers. Im Messbereich von 2?55m wurden auch unter künstlich verschlechterten Umgebungsbedingungen systematische Messabweichungen von lediglich 2?20µm (distanzabhängig) festgestellt. Darüber hinaus davon erlauben theoretische Betrachtungen eine Prognose statistischer und systematischer Abweichungen für unterschiedliche ADI-Anordnungen und Versuchsbedingungen.

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@inproceedings{dgao105-a6, title = {Test eines absolutmessenden lnterferometers am 50m-Längenkomparator der PTB}, author = {Thomas Kinder, Gerald Sparrer, Klaus-Dieter Salewski}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 105. Jahrestagung}, year = {2004}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Talk A6} }
105. Annual Conference of the DGaO · Bad Kreuznach · 2004