Automatisiertes Autofokus-Messsystem zur Oberflächen-Qualitätsprüfung
- Fachhochschule Oldenburg/Ostfriesland/Wilhelmshaven
miesner [at] fho-emden [dot] de
Mit optischen Sensoren nach dem Autofokusprinzip können Abstände zu reflektierenden oder streuenden Oberflächen mit hoher Empfindlichkeit gemessen werden. Für eine Prüfung der Bauteilgeometrie im Fertigungsprozess ist eine automatisierte Messdatenerfassung, -auswertung und -dokumentation erforderlich. Die Anforderungen an die Tiefenauflösung senkrecht zur Bauteiloberfläche liegen im Sub-Mikrometerbereich. Es wird über ein automatisiertes Autofokusmesssystem mit Anwendungsbeispielen berichtet, bei dem der Autofokussensor auch gegen andere optische Sensoren ausgetauscht werden kann.
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@inproceedings{miesner2004a2,
author = {Miesner, J. and Schnittker, K. and Kreitlow, Horst},
title = {{Automatisiertes Autofokus-Messsystem zur Oberflächen-Qualitätsprüfung}},
booktitle = {DGaO-Proceedings 2004},
series = {DGaO-Proceedings},
eventtitle = {105. Jahrestagung der DGaO},
eventdate = {2004-06-02/2004-06-05},
venue = {Bad Kreuznach},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
year = {2004},
pages = {A2},
url = {https://dgao-proceedings.de/paper/105-a2}
}
105. Jahrestagung der DGaO · Bad Kreuznach · 2004