Automatisiertes Autofokus-Messsystem zur Oberflächen-Qualitätsprüfung

  1. Fachhochschule Oldenburg/Ostfriesland/Wilhelmshaven

miesner@fho-emden.de

Mit optischen Sensoren nach dem Autofokusprinzip können Abstände zu reflektierenden oder streuenden Oberflächen mit hoher Empfindlichkeit gemessen werden. Für eine Prüfung der Bauteilgeometrie im Fertigungsprozess ist eine automatisierte Messdatenerfassung, -auswertung und -dokumentation erforderlich. Die Anforderungen an die Tiefenauflösung senkrecht zur Bauteiloberfläche liegen im Sub-Mikrometerbereich. Es wird über ein automatisiertes Autofokusmesssystem mit Anwendungsbeispielen berichtet, bei dem der Autofokussensor auch gegen andere optische Sensoren ausgetauscht werden kann.

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@inproceedings{dgao105-a2, title = {Automatisiertes Autofokus-Messsystem zur Oberflächen-Qualitätsprüfung}, author = {J. Miesner, K. Schnittker, Horst Kreitlow}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 105. Jahrestagung}, year = {2004}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Talk A2} }
105. Annual Conference of the DGaO · Bad Kreuznach · 2004