Automatisiertes Autofokus-Messsystem zur Oberflächen-Qualitätsprüfung
- Fachhochschule Oldenburg/Ostfriesland/Wilhelmshaven
Mit optischen Sensoren nach dem Autofokusprinzip können Abstände zu reflektierenden oder streuenden Oberflächen mit hoher Empfindlichkeit gemessen werden. Für eine Prüfung der Bauteilgeometrie im Fertigungsprozess ist eine automatisierte Messdatenerfassung, -auswertung und -dokumentation erforderlich. Die Anforderungen an die Tiefenauflösung senkrecht zur Bauteiloberfläche liegen im Sub-Mikrometerbereich. Es wird über ein automatisiertes Autofokusmesssystem mit Anwendungsbeispielen berichtet, bei dem der Autofokussensor auch gegen andere optische Sensoren ausgetauscht werden kann.
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@inproceedings{dgao105-a2,
title = {Automatisiertes Autofokus-Messsystem zur Oberflächen-Qualitätsprüfung},
author = {J. Miesner, K. Schnittker, Horst Kreitlow},
booktitle = {DGaO-Proceedings, 105. Jahrestagung},
year = {2004},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
issn = {1614-8436},
note = {Talk A2}
}
105. Annual Conference of the DGaO · Bad Kreuznach · 2004