A. Erkot

Institut für angewandte Photonik e.V.

1 Beitrag

A7 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Grautonlithographie für die Herstellung von Blazegittern

A. Fernández Herrero, N. Samadi, S. Rehbein, V. Guzenko, A. Sokolov, C. Braig, A. Teichert, A. Erkot, T. Krist, C. David, F. Siewert