Guido Straube

Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Technische Universität Ilmenau

1 Beitrag

A10 · Vortrag · 123. Tagung (2022)

PDF

Heterodynes Interferometer mit vier Strahlen für hochpräzise Längen- und Winkelmessung in Nanopositionier- und Nanomessmaschinen

G. Straube, J. S. Fischer-Calderón, I. Ortlepp, R. Füßl, E. Manske