Xavier Uwurukundo

Fachbereich SciTec, Ernst-Abbe-Hochschule Jena

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B30 · Vortrag · 122. Tagung (2021)

Variable, ringförmige Belichtung zur lithografischen Herstellung rotationssymmetrischer mikrooptischer Elemente - Konzeption und Funktionsnachweis

M. Knoblich, M. Kraus, E. Förster, H.-J. Dobschal, D. Stumpf, L. Werner, X. Uwurukundo, H. Hillmer, R. Brunner

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