Oksana Fursenko

IHP – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

2 Beiträge

B35 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Messverfahren zur Kontrolle tiefer Siliziumstrukturen für die 3D-Chip-Integration

J. Bauer, F. Villasmunta, F. Heinrich, C. Villringer, J. Reck, S. Peters, A. Treffer, Chr. Kuhnt, St. Marschmeyer, O. Fursenko, P. Steglich, A. Mai, S. Schrader, M. Regehly

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A17 · Vortrag · 122. Tagung (2021)

Bestimmung der optischen Konstanten und Streueigenschaften von transparenten Kunststoffen auf Polyurethanbasis für den Einsatz in der Optoelektronik

J. Bauer, O. Fursenko, F. Heinrich, M. Gutke, B. Dietzel, E. Kornejew, O. Broedel, A. Kaltenbach, M. Burkhardt, M. Edling, S. Pulwer, P. Steglich, M. Herzog, S. Schrader