Ioannis Pantouvakis

Institut für Mikrotechnologien, Hochschule RheinMain

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A16 · Vortrag · 122. Tagung (2021)

Optische Eigenschaften von FOTURAN®II während UV-Belichtung und Tempern, untersucht mittels Spektrometrie und Interferenzlithographie

I. Pantouvakis, C. Warneke, H.-D. Bauer