F. Landgraf

Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Regensburg University of Applied Sciences

1 paper

P29 · Poster · 120. Conference (2019)

Mikro-Heißprägen von MEMS Substraten aus Glas am Beispiel CMUT basierter Sensoren

A. Kasberger, F. Landgraf, A. Zagler, R. Förg