Gabriela Alexe

Bremer Institut für Messtechnik, Automatisierung und Qualitätswissenschaft, Universität Bremen

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B41 · Vortrag · 118. Tagung (2017)

Modellunterstützte Messmethode für periodische Sub-Wellenlängen-Nanostrukturen

G. Alexe, A. Tausendfreund, D. Stöbener, A. Fischer