Mark-Alexander Henn

Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)

2 papers

P14 · Poster · 114. Conference (2013)

Untersuchungen zum Einfluss verwendeter Näherungen in der Scatterometrie

J. Endres, S. Burger, A. Diener, H. Gross, M.-A. Henn, S. Heidenreich, M. Wurm, B. Bodermann

A28 · Talk · 113. Conference (2012)

Towards traceability in scatterometric-optical dimensional metrology for optical lithography

B. Bodermann, J. Endres, H. Gross, M.-A. Henn, A. Kato, F. Scholze, M. Wurm