Mark-Alexander Henn
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)
2 papers
P14 · Poster · 114. Conference (2013)
Untersuchungen zum Einfluss verwendeter Näherungen in der Scatterometrie
A28 · Talk · 113. Conference (2012)