Lorenz Stürzebecher

Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF

2 Beiträge

A1 · Vortrag · 113. Tagung (2012)

AMALITH: Advanced Mask Aligner Lithography

A. Bramati, T. Weichelt, L. Stürzebecher, B. Meliorisz, U. Vogler, R. Voelkel

P17 · Poster · 112. Tagung (2011)

Modellierung und Simulation bei Mask Aligner Lithographie (Source-Mask Optimization

U. Vogler, A. Bramati, R. Völkel, M. Hornung, R. Zoberbier, K. Motzek, A. Erdmann, L. Stürzebecher, U. Zeitner