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DGaO
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Proceedings
ISSN 1614-8436
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Michael Altenberger
Michael Altenberger
Carl Zeiss SMT GmbH
1 paper
A7 · Talk · 112. Conference (2011)
Minimierung chromatischer Passemessfehler bei kurzkohärenter Interferometrie
V. Weidenhof, M. Altenberger, B. Dörband