Valeriano Ferreras Paz

Universität Stuttgart

1 Beitrag

A11 · Vortrag · 112. Tagung (2011)

Fourier-Scatterometrie zur Charakterisierung von sub-lambda Zwei-Photonen-Polymerisations-strukturierten Kreuzgittern

V. Ferreras Paz, S. Peterhänsel, K. Frenner, W. Osten, A. Ovsianikov, K. Obata, B. N. Chichkov