Peter Klar

I. Physikalisches Institut, Justus-Liebig-Universität Gießen

2 Beiträge

A20 · Vortrag · 125. Tagung (2024)

Machine Learning in der kohärenten Fourier-Scatterometrie zur Unterscheidung geometrischer Strukturen sphärischer Goldnanopartikel

S. Krämer, K. Kroth, S. Schiffner, T. Sure, P. J. Klar

H7 · Hauptvortrag · 111. Tagung (2010)

Modulationsspektroskopie zur Charakterisierung komplexer Halbleiterbauelementstrukturen