Oliver Paul

Institut für Mikrosystemtechnik (IMTEK), Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

1 Beitrag

A13 · Vortrag · 111. Tagung (2010)

Measurement of nanometric deformations of microsystems

G. Pedrini, S. Maisch, J. Gaspar, O. Paul, W. Osten