Frank Pilarski

Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)

2 papers

A26 · Talk · 111. Conference (2010)

Aufbau eines 193 nm Mikroskops als Strukturbreitenmesssystem für Photomasken

Z. Li, F. Pilarski, D. Bergmann, B. Bodermann, E. Buhr

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P34 · Poster · 109. Conference (2008)

Konstruktive Realisierung eines hochaperturigen 193nm-Mikroskops für die quantitative dimensionelle Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen

G. Ehret, F. Pilarski, D. Bergmann, B. Bodermann, E. Buhr, W. Mirandé

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