Bernd Geh

Carl Zeiss SMT GmbH

1 paper

B17 · Talk · 109. Conference (2008)

Neues Zernike-ähnliches Verfahren zur Beschreibung der Abbildungsfehler polarisierender Optiken

M. Totzeck, J. Ruoff, A. Göhnermeier, D. Krähmer, B. Geh