Wilfried Frank

Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V.

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A20 · Vortrag · 108. Tagung (2007)

Deterministische Formgebung kleinformatiger Präzisionsoptiken mit reaktiven Normaldruck-Plasmajets

G. Böhm, T. Arnold, W. Frank, A. Nickel, A. Schindler